鎢燈絲掃描電子顯微鏡（SEM）是一種高分辨率顯微鏡，它通過電子束與樣品表面的相互作用來獲取顯微圖像。以下是鎢燈絲SEM的操作步驟與樣品制備技巧的詳解： 操作步驟：
樣品準備：確保樣品適合在低真空條件下觀察，并進行必要的清潔和干燥處理。對于非導(dǎo)電樣品，可能需要進行導(dǎo)電涂層處理。
開機前檢查：檢查電鏡是否干凈，確認鎢燈絲是否完好，確保沒有異物在樣品艙內(nèi) 。
啟動設(shè)備：按照操作手冊的指導(dǎo)，開啟電鏡的總電源，啟動電腦和電鏡的控制軟件。
抽真空：打開真空泵，將樣品艙抽至所需真空水平。對于低真空SEM，不需要像高真空SEM那樣達到非常高的真空度。
設(shè)置參數(shù)：通過控制軟件設(shè)置加速電壓、工作距離、掃描速度等參數(shù)。鎢燈絲電鏡的加速電壓通常在10kV到30kV之間。
加載樣品：當真空度達到要求后，將樣品放入樣品艙，并調(diào)整至合適的位置和角度。
聚焦和調(diào)整圖像：使用控制軟件逐步調(diào)整聚焦，直到獲得清晰的圖像，并根據(jù)需要調(diào)整對比度、亮度等參數(shù)。
觀察和分析：在獲得滿意的圖像后，進行觀察和分析，并保存圖像和數(shù)據(jù) 。
關(guān)機：完成觀察后，關(guān)閉加速電壓，等待樣品艙自然回到大氣壓，取出樣品，關(guān)閉控制軟件和電鏡電源，最后關(guān)閉總電源和真空泵。
樣品制備技巧：
樣品尺寸與形狀：樣品尺寸應(yīng)適合電鏡倉室和樣品臺大小，形狀應(yīng)保持原有形貌，盡量減少破壞。
樣品清潔：對樣品表面的沾污如碎屑，用吸耳球吹拂，油污、高分子溶劑可用乙醇或丙酮超聲清洗，一般不用水清洗，防止樣品成膜，無法用SEM觀察到樣品。
斷面樣品制備：包括直接掰斷、剪斷、用玻璃刀壓斷、液氮脆斷、機械切割后拋光處理等方法。
生物樣品制備：一般要經(jīng)過脫水、定形、干燥、鍍膜等步驟。使用丙酮脫水，空氣干燥法，用磷酸緩沖戊二醛固定液或10%福爾馬林進行固定。
樣品的安裝：對于導(dǎo)電樣品，用導(dǎo)電膠帶粘在樣品臺上；對于粉末樣品，均勻撒在導(dǎo)電膠上面，用壓縮空氣吹去未黏住的樣品。
通過上述步驟和技巧，可以有效地操作鎢燈絲掃描電子顯微鏡，并制備適合觀察的樣品。
